空気圧ふいごによって駆動した1つの段階の極めて正確な位置決め

FUJITA Toshinori; SAKAI Kazutoshi; TAKAGI Yusuke; KAWASHIMA Kenji; KAGAWA Toshiharu

文献

J-GLOBAL ID：201402211477581555 整理番号：14A0806013

空気圧ふいごによって駆動した1つの段階の極めて正確な位置決め

Ultra Precise Positioning of a Stage Driven by Pneumatic Bellows

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資料名：
巻： 5 号： 4 ページ： 508-515 発行年： 2011年07月05日
JST資料番号： L0997B ISSN： 1881-7629 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

半導体産業により導出したナノテクノロジをサポートする極めて正確な位置決め技術は主にナノメートル次数の精度を必要とした。現在では,それは,この次数の位置決め制御にほとんどの場合使用する圧電素子であった。しかしながら,圧電素子はストロークと耐久性において不完全であった。この検討では,空気圧ふいごの耐久性を上手く証明するために,著者らは,圧極めて正確な位置決め制御空気圧ふいごを,圧電素子の代わりに使用することを提案した。特に,著者らは,空気圧ふいごによって駆動する弾性ヒンジガイドの微細運動段階を製造した。さらに,著者らは,その動特性と同様にこの微細運動段階のための数学モデルを開発した。開発した段階と数学モデルを使用して,極めて正確な位置決めを実現するために,著者らは,フィードバック制御をレビューした。その結果,著者らは,圧電素子で駆動するものより長いストロークを用いる微細運動段階の開発に成功したが,しかしそれは劣っていた。空気圧ふいごの駆動段階の位置決め精度は±5nmであって,圧電素子が実現するものと等しかった。(翻訳著者抄録)

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油圧・空気圧・真空機器一般

引用文献 (9件)：

N. Taniguchi, “Nanotechnology -Integrated Processing Systems for Ultra-precision and Ultra-fine products,” Oxford University Press, p. 1, 1996.
F. Imura et al., “Development of Nano-surgery System for Cell Organelles,” Proc. of the 41st SICE Annual Conf., pp. 3312-3217, 2002.
Y. Egashira et al., “Sub-Nanometer Resolution Ultrasonic Motor for 300 mm Wafer Lithography Precision Stage,” Japanese J. of Applied Physics, Vol.41, pp. 5858-5863, 2002.
T. Kagawa, L. Tokashiki, and T. Fujita, “Accurate Positioning of a Pneumatic Servosystem with Air Bearings,” Bath Workshop on Power Transmission and Motion Control, pp. 257-268, 2000.
K. Pai and M. Shih, “Nanoaccuracy Position Control of a Pneumatic Cylinder Driven Table,” JSME Int. J. Series C, Vol.46, No.3, pp. 1062-1067, 2003.

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