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J-GLOBAL ID:201702239708487041   整理番号:17A1005720

電子ナノビームにより誘発された高分子膜における金属ナノ粒子の合成とパターン形成

Synthesis of Metal Nanoparticles and Patterning in Polymeric Films Induced by Electron Nanobeam
著者 (7件):
資料名:
巻: 121  号:ページ: 5335-5340  発行年: 2017年03月09日 
JST資料番号: W1877A  ISSN: 1932-7447  CODEN: JPCCCK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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銀あるいは金ナノ粒子が負荷された高分子(PS,PMMA)膜を走査電子ナノビームを使用して製作した。この方法では,高分子膜に固溶体の形で埋め込まれた金属(金,銀)イオンがナノビーム照射により還元される。本報は合成に関する前半部と,電子ナノビームによる高分解能のパターニング形成の後半部よりなる。鋳型の選択,ビーム照射量,粒子を成長させるための加熱などの合成条件が検討され,合成条件の最適化が図られた。また非照射部分の溶解についても調べられた。金属ナノ粒子の存在を光吸収およびTEMなどによる観察により確かめた。金属イオンの還元ならびに高分子架橋の機構が導かれた。ナノビームの走査により,非照射部分により隔てられた200nm幅の線が得られた。高分子膜上にナノパターンを製作するという本研究の手法はインプリント金型になど,広範な適用性を備えている。
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分類 (2件):
分類
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高分子固体の物理的性質  ,  物理化学一般その他 

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