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J-GLOBAL ID：201702240119754490   整理番号：17A1975539

磁場-パルスプラズマ援用化学気相成長法におけるパルスパラメータ変化がHMDSNの窒化に及ぼす影響

著者 (3件)： 村野正典 (近畿大 大学院総合理工学研究科) ,  松谷貴臣 (近畿大 大学院総合理工学研究科) ,  川崎忠寛 (ファインセラミックスセ)
資料名： 電気関係学会関西連合大会講演論文集(CD-ROM)
巻： 2017  ページ： ROMBUNNO.P-15  発行年： 2017年11月06日 
JST資料番号： L2273B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透過型電子顕微鏡 ,  隔膜 ,  *膜 ,  *イオン窒化 ,  化学蒸着 ,  永久磁石 ,  *非晶質膜 ,  *改変
準シソーラス用語： *アモルファス膜 ,  ネオジウム磁石 ,  化学気相成長法

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (7件)： 磁場 ,  パルスプラズマ ,  援用 ,  化学気相成長法 ,  パルス ,  パラメータ ,  窒化