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J-GLOBAL ID:201702240119754490   整理番号:17A1975539

磁場-パルスプラズマ援用化学気相成長法におけるパルスパラメータ変化がHMDSNの窒化に及ぼす影響

著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  ページ: ROMBUNNO.P-15  発行年: 2017年11月06日 
JST資料番号: L2273B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
電子顕微鏡,イオン顕微鏡 

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