Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China について
Lin Yiyu について
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Zheng Xudong について
Micro-Satellite Research Center, Zhejiang University, Hangzhou 310007, PR China について
Liu Yidong について
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Jin Zhonghe について
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Sensors and Actuators. A. Physical について
線形性 について
側波帯 について
高調波 について
共振 について
位相シフト について
位相 について
微細加工 について
加速度計 について
ロバスト性 について
正弦波 について
振動制御 について
ジャイロスコープ について
非線形性 について
MEMS について
パラメータ変動 について
容量性センシング について
容量性検出 について
三角電極 について
自己キャリブレーション について
MEMS共振デバイス について
共振器 について
固体デバイス製造技術一般 について
圧電デバイス について
計測機器一般 について
MEMS について
共振 について
三角 について
静電容量センシング について