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J-GLOBAL ID：201702240937290148   整理番号：17A0914540

超音波噴霧熱分解法によるZnOとアルミニウムをドープしたZnO薄膜合成【Powered by NICT】

ZnO and aluminium doped ZnO thin films synthesis by ultrasonic spray pyrolysis technique

著者 (3件)： Fedoseev Alexander G. (Department of Micro- and Nanoelectronics, Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI”, Saint Petersburg, Russia) ,  Lashkova Natalia A. (Department of Micro- and Nanoelectronics, Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI”, Saint Petersburg, Russia) ,  Matyushkin Lev B. (Department of Micro- and Nanoelectronics, Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI”, Saint Petersburg, Russia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EIConRus  ページ： 1391-1393  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化亜鉛膜とアルミニウムをドープした酸化亜鉛膜を超音波噴霧熱分解のために特別に設計した装置により調製した。前駆体溶液の噴霧は,共振周波数1.7±0.085MHzでの超音波変換器を用いて作製した。得られた膜の厚さは400nm未満であり,平均粗さは約40nmであり,透過率は可視範囲で85%以上であった。アンドープ酸化亜鉛膜は圧電特性,圧電応答力顕微鏡で証明を示した。アルミニウムをドープした酸化亜鉛膜の平均シート抵抗が200kOhmである。薄膜の表面は滑らかで,亜鉛酸化物粒子は小さなサイズ分散を持っている。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 透過率 ,  *アルミニウム ,  *薄膜 ,  *噴霧 ,  *超音波 ,  *ドーピング ,  共振周波数 ,  超音波変換器 ,  *酸化亜鉛 ,  シート抵抗 ,  前駆体
準シソーラス用語： 圧電応答力顕微鏡 ,  圧電特性 ,  *ZnOフィルム ,  *噴霧熱分解法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 超音波噴霧 ,  ZnO ,  アルミニウム ,  ドープ ,  ZnO薄膜