文献

J-GLOBAL ID：201702241343262622   整理番号：17A0895958

電池駆動MEMS天然ガスセンサーの開発

著者 (2件)： 野中篤 (大阪ガス) ,  大西久男 (大阪ガス)
資料名： 日本エネルギー学会機関誌  (Enermix)
巻： 96  号： 4  ページ： 422-426  発行年： 2017年07月20日 
JST資料番号： F1934A  ISSN： 2432-3586  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 天然ガスにおける安全・安心を確保する上で,天然ガスの主成分であるメタンを検知するガスセンサを搭載した検知・警報機器は,重要な役割を担っている。天然ガスの検知には,低濃度のガスに対しても感度が高い特徴を有する酸化スズを主成分とする多孔質体から成る半導体式センサが広く用いられている。メタンは炭化水素の中で最も反応性に乏しく,検知性能を活性化させるためには,センサを400°C程度にまで加熱する必要がある。従来のセンサでは,ガス検知部の熱容量が大きく,また金属ヒーター線からの熱散逸も大きいため,ガス検知時に大きな消費電力を必要としてきた。そこで,省c電力性・メタン高感度・高選択性・高信頼性を兼ね備えた「電池駆動MEMS天然ガスセンサー」を,開発した。センサー素子の電気抵抗値を支配する酸化スズ薄膜の厚みが保温効果を有する選択酸化触媒層の1/100未満であることに加え,酸化スズ薄膜の厚み方向の熱伝達が速いことにより,極短時間迅速駆動が可能となった。400°C到達後わずか10ms以内に,メタンに対する大きな感度が安定して発現している。また,極短パルスヒートサイクルを1000万回以上加えても特性が変動しない,極めて高いロバスト性を確立している。

シソーラス用語： *酸化スズ ,  *ガスセンサ ,  *天然ガス ,  *MEMS ,  センサ ,  半導体素子 ,  電気抵抗 ,  薄膜 ,  熱伝達 ,  散逸 ,  検出 ,  *固体素子 ,  *省エネルギー ,  アルカン
準シソーラス用語： 半導体センサ ,  熱散逸 ,  ガス検知 ,  *センサ素子 ,  *省電力

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

物質索引 (1件)： メタン

引用文献 (8件)：

• Ohnishi, H.; Matsumoto, T.; Ippommatsu, M., Proc. of the 19th World Gas Conference -Milan, IGU/E7-94, 1-15 (1994)
• Ohnishi, H.; Sasaki, H.; Matsumoto, T.; Ippommatsu, M., Sens. Actuators, B, 13-14, 677-678 (1993)
• Nonaka, A.; Nakajima, T.; Ohnishi, H.; Okamura, M.; Murata,N.;Suzuki,T.,Chem.Sens.,30 Sup,B,13-15(2014):野中篤,中島崇,大西久男,岡村誠,村田尚義,鈴木卓弥,Chem.Sens.,30 Sup.B,13-15(2014)
• 田畑総一,檜垣勝己,佐々木博一,大西久男,小林光男,鈴木卓弥,松原健,国原健二,特開 2004-317276(2004)
• 大西久男,田畑総一,横山晃太,特開 2000-298108(2000)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電池 ,  MEMS ,  ガスセンサー ,  開発