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J-GLOBAL ID：201702242144957856   整理番号：17A1090622

SF₆ガスセンサ応用に対する共振器-QWIPの設計と製作

Design and Fabrication of Resonator-QWIP for SF₆ Gas Sensor Application

著者 (5件)： SUN J. (U.S. Army Res. Lab., MD, USA) ,  CHOI K. K. (U.S. Army Res. Lab., MD, USA) ,  DECUIR E. A. (U.S. Army Res. Lab., MD, USA) ,  OLIVER K. A. (U.S. Army Res. Lab., MD, USA) ,  FU R. X. (U.S. Army Res. Lab., MD, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10149  ページ： 101490S.1-101490S.8  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SF₆ガスセンサ適用に対する狭帯域10.6μm検出にR-QWIPsを適用した。R-QWIP FPAs及びテスト装置を製造するために,2つの最適化された誘導結合プラズマ(ICP)エッチング過程を開発し,ASMLステッパを使って,設計寸法及び要求されたエッチング深さを有するR-QWIP FPAsを製造した。FPAs及び試験装置の基板を完全に除去して,共振効果を高めた。僅か1μm厚さの活性層と0.2及び0.3×10¹⁸/cm³の低ドーピング密度で,それぞれ30%及び26%の良好なQEを達成した。これらの検出器は,11μmで切離し,F/2光学系下で60K及び2msで動作させると,9Me^-の半分の容量で20mKの高感度に達した。ウェル容量が大きいほど高いバイアスで高い感度が期待された。より厳しいSF₆ガス検知に対して,現在のFPAはF/1.5光学下で56Kと4msにおいて同感度に達する必要がある。より最適化された共振構造により,この積算時間を大幅に短縮することができる。

シソーラス用語： 共振器 ,  *フッ化硫黄 ,  *ガスセンサ ,  量子井戸 ,  *プラズマエッチング ,  検出器
準シソーラス用語： 六フッ化硫黄

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： SF6ガス ,  応用 ,  共振器 ,  設計 ,  製作