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J-GLOBAL ID：201702242350530578   整理番号：17A0621527

光学的低コヒーレンス反射率測定によるピエゾ駆動ガラスマイクロメンブレンの試験

Testing of Piezo-Actuated Glass Micro-Membranes by Optical Low-Coherence Reflectometry

著者 (5件)： MERLO Sabina (Universita degli Studi di Pavia, Pavia, ITA) ,  POMA Paolo (Universita degli Studi di Pavia, Pavia, ITA) ,  CRISA Eleonora (Universita degli Studi di Pavia, Pavia, ITA) ,  FARALLI Dino (STMicroelectronics, Agrate Brianza (MB), ITA) ,  SOLDO Marco (STMicroelectronics, Cornaredo (Mi), ITA)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 17  号： 3  ページ： WEB ONLY  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,光ファイバの光路を伝搬する赤外光で実現された光学的低コヒーレンス反射率測定法(OLCR)を適用して,ピエゾ駆動ガラス微小膜の静的および動的解析を行った。アクチュエータは,薄膜圧電MEMS技術を用いて製造され,可変焦点マイクロレンズなどのマイクロ光学デバイスへの応用の観点において,マイクロ膜の湾曲を修正するために使用された。本論文では,近赤外スーパールミネッセント発光ダイオードをリードアウト光源として組み込んだOLCRは,マイクロメンブレンの光路長,印加電圧の関数としてのメンブレン変位(ピエゾアクチュエータのヒステリシス),基本振動モードの共振曲線などの様々なパラメータの測定に適していることを示した。コヒーレンス時間が短い光源を使用することにより,高度に平坦なスラブの複数の平行な界面による擬似共鳴効果を利用することなく干渉測定を行うことができ,さらに監視される平面/層を選択することができた。同じ小型で柔軟な装置が,ピエゾMEMSの静的および動的特性のリアルタイム評価のためのスポット光学的測定に使用できることを実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： コヒーレンス ,  *ガラス ,  駆動 ,  圧電素子 ,  *光学的測定 ,  *反射率 ,  薄膜 ,  アクチュエータ ,  マイクロレンズ ,  発光ダイオード ,  MEMS ,  共鳴
準シソーラス用語： ピエゾ駆動 ,  反射率測定

分類 (1件)： 屈折及び反射の測定と装置  (BD07060V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光学 ,  コヒーレンス ,  反射率測定 ,  ピエゾ駆動 ,  試験