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J-GLOBAL ID：201702242659450053   整理番号：17A0465641

ゾルゲルスピンコーティング法により作製したSnO₂ナノ構造に基づく水素ガスセンサ

Hydrogen Gas Sensing Based on SnO₂ Nanostructure Prepared by Sol-Gel Spin Coating Method

著者 (3件)： KADHIM Imad H. (Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS) ,  KADHIM Imad H. (Ministry of Education, Baghdad, IRQ) ,  HASSAN H. Abu (Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 46  号： 3  ページ： 1419-1426  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SnO₂ナノ構造を用いた新しい水素ガスセンサを開発した。室温でAl₂O₃基板上にゾルゲルスピンコーティング法でSnO₂膜を形成した。空気中500°Cでアニール処理を行い、結晶粒径33.98nmをX線回折法で確認した。Pd電極をくし形に形成しMSM構造のガスセンサ素子を得た。150ppmから1000ppmまでの水素濃度、室温から125°Cまでの温度で、電気伝導度評価を行い、濃度1000ppm、室温で2570%の感度が得られた。薄膜形成時の溶液へのグリセリン添加は感度向上に有効であった。本水素ガスセンサ素子は持ち運び可能な室温センサに適している。

シソーラス用語： *ゾル-ゲル法 ,  *スピンコーティング ,  *酸化スズ ,  *ナノ構造 ,  気体 ,  *ガスセンサ ,  X線回折 ,  電気伝導率 ,  結晶粒界 ,  基板 ,  電極 ,  水素
準シソーラス用語： 二酸化スズ ,  水素ガス ,  XRD ,  アルミナ基板 ,  Pd電極

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 作製 ,  ナノ構造 ,  水素 ,  ガスセンサ