EBERSBACH Peter について
GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG, Dresden, DEU について
URBANOWICZ Adam M. について
Nova Measuring Instruments, Dresden, DEU について
LIKHACHEV Dmitriy について
GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG, Dresden, DEU について
HARTIG Carsten について
GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG, Dresden, DEU について
Proceedings of SPIE について
マスク について
長さ について
計測 について
チタン化合物 について
窒化物 について
モデリング について
誘電関数 について
プロセス制御 について
光学的性質 について
金属薄膜 について
半導体プロセス について
回路パターン形成 について
フォトリソグラフィー について
クリティカルディメンジョン について
ハードマスク について
光CD について
光学モデリング について
散乱測定 について
窒化チタン について
膜厚依存性 について
固体デバイス計測・試験・信頼性 について
クリティカルディメンション について
散乱計測 について
TiN について
ハードマスク について
光学 について
モデリング について