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J-GLOBAL ID：201702243245751215   整理番号：17A0576779

縦穴構造研磨パッドの加工条件依存性

著者 (3件)： 内田夏音 (立命館大) ,  ZHANG Yu (立命館大) ,  谷泰弘 (立命館大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.I02  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ウェーハなどの仕上げ研磨には,縁だれを小さくできるスエードタイプ研磨パッドが利用されている。スエードタイプ研磨パッドは縦穴構造を有するため異方性があり,縁だれが抑制されると考えられる。本研究では,規則正しいピラー構造の型にウレタン樹脂やエポキシ樹脂を転写することで作製した,縦穴構造研磨パッドを用いて研磨された工作物の縁だれを調査した。また,縦穴構造研磨パッドの研磨能率等の調査も行ったので報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  *仕上 ,  *切削工具 ,  *ポリウレタン ,  *エポキシ樹脂 ,  *転写 ,  *研磨
準シソーラス用語： 研磨パッド ,  ウレタン樹脂

分類 (1件)： 研削・研摩材  (YC06020Q)

引用文献 (1件)：

• 北井庸平,村田順二,谷泰弘,張宇:エポキシ樹脂を適用したスエードパッドによるガラス研磨特性の向上,日本機械学会論文集(C編)

タイトルに関連する用語 (4件)： 縦穴 ,  研磨パッド ,  加工条件 ,  依存性