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J-GLOBAL ID：201702243537740513   整理番号：17A1440119

ターボ分子ポンプと乾燥バッキングポンプを有する超高真空の発生:完全炭化水素フリー真空の要求を満たす【Powered by NICT】

Generation of UHV with Turbomolecular Pump and Dry Backing Pump: Meeting the demand for completely hydrocarbon-free vacuum

著者 (2件)： Schopphoff Andreas (Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Strasse 43, 35614 Asslar) ,  Braunschweig Falk
資料名： Vakuum in Forschung und Praxis  (Vakuum in Forschung und Praxis)
巻： 29  号： 5  ページ： 22-25  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0918A  ISSN： 0947-076X  CODEN： VFPREO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超高真空(UHV)の生成のために,多重ポンプとポンプの組合せが可能である。過去では,高圧縮比のために,最も一般的に使用されるバッキングポンプは油回転ベーンポンプであった。しかし炭化水素なし真空の需要の高まりは,他の解を必要としている:乾燥多段Rootsポンプと組み合わせた完全に磁気浮上ターボ分子ポンプはオイルフリーUHV圧力を生成することができるだけでなく,運転誤差による汚染を除去した。残留ガス分析は,このポンプを組み合わせた,水素の限界部分圧は有意に減少させることができることを証明した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 多重化 ,  残留ガス ,  *水素 ,  *超高真空 ,  磁気浮上 ,  分圧
準シソーラス用語： オイルフリー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (5件)： ターボ分子ポンプ ,  バッキング ,  高真空 ,  炭化水素 ,  真空