文献

J-GLOBAL ID：201702243675068703   整理番号：17A1090551

リソグラフィ投影レンズの熱収差解析

The thermal aberration analysis of a lithography projection lens

著者 (11件)： MAO Yanjie (Shanghai Inst. Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  MAO Yanjie (Univ. Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  LI Sikun (Shanghai Inst. Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  LI Sikun (Univ. Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  SUN Gang (Shanghai Micro Electronic Equipment, Co, LTD, Shanghai, CHN) ,  WANG Jian (Shanghai Micro Electronic Equipment, Co, LTD, Shanghai, CHN) ,  DUAN Lifeng (Shanghai Micro Electronic Equipment, Co, LTD, Shanghai, CHN) ,  BU Yang (Shanghai Inst. Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  BU Yang (Univ. Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  WANG Xiangzhao (Shanghai Inst. Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  WANG Xiangzhao (Univ. Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10147  ページ： 101471P.1-101471P.9  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光リソグラフィでレンズ加熱による投影レンズの熱収差はイメージング品質低下をもたらす。物理モデルと簡単化モデルを使った熱収差解析法を比較した。レンズ加熱の物理モデルは正確な熱収差解析が可能だが,熱最適化で重要な熱収差へのレンズ要素の寄与を解析できない。簡単化モデルはレンズ要素の熱解析をサポートしているが,簡単化モデルではレンズ表面変形と屈折率の変動だけが考慮されている。本稿の熱収差解析ではレンズ表面の変形や屈折率変動だけでなく,熱収差解析では光路の変化も考慮している。この方法をKrFリソグラフィの投影レンズ設計解析に適用した。その結果,熱効果による屈折率の変動と同時に光線シフトが波面誤差の大きな原因であることが分かった。そして,i線リソグラフィの投影レンズを提案した方法で最適化した。熱収差のRMS値は31.8%小さくなった。

シソーラス用語： フォトリソグラフィー ,  *収差 ,  光学設計 ,  レンズ ,  モデル ,  屈折率 ,  加熱 ,  誤差 ,  レンズ設計
準シソーラス用語： *光路 ,  *投影レンズ ,  波面誤差 ,  物理モデル

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： リソグラフィ ,  投影レンズ ,  収差 ,  解析