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J-GLOBAL ID：201702244239206486   整理番号：17A1276516

MEMS技術のための実際的な最悪時パラメータ【Powered by NICT】

Realistic worst-case parameter sets for MEMS technologies

著者 (5件)： Herrmann Andreas (Institute for Electronic Design Automation, Technical University of Munich) ,  Hielscher Christof (X-FAB Semiconductors Foundries AG) ,  Mueller Alexander (X-FAB Semiconductors Foundries AG) ,  Hoelzer Gisbert (X-FAB Semiconductors Foundries AG) ,  Graeb Helmut (Institute for Electronic Design Automation, Technical University of Munich)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： SMACD  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSシステムがますます複雑なので,それらの設計は,最悪の条件の正確な考慮を必要とする。本論文では,MEMS製造プロセスへのIC設計から現実的な最悪ケース特性化を紹介した。プロセスパラメータの結合分布と回路性能の感度解析に基づいており,古典的なコーナーケースへの改良された最悪の特性を提供する。産業MEMS技術と加速度センサを用いて説明した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  *MEMS ,  プロセスパラメータ ,  生産工程 ,  回路特性 ,  感度解析
準シソーラス用語： 加速度センサ ,  集積回路設計 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： CAD,CAM  (JE10000A) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS ,  パラメータ