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J-GLOBAL ID：201702244298470133   整理番号：17A0576788

大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発-PCDボールエンドミルによるSiCの高品位加工への適用-

著者 (3件)： 天野慎一郎 (東京都市大 大学院) ,  片平和俊 (理研) ,  亀山雄高 (東京都市大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.I15  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,大気圧プラズマジェットを加工点にピンポイントで照射することにより,加工中のクーラント効果を促進させ,微細ダイヤモンド工具の加工性能を向上させることを試みた。窒素ガスベースの大気圧プラズマ援用クーラントを使用し,PCDボールエンドミルによりCVD-SiCのミーリング加工を行った結果,Raで1.7nmという高品位な加工面が得られた。本手法を用いることにより,工具表面の付着物の抑止に甚大な効果があることが確認できた。(著者抄録)

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  加工 ,  *プラズマジェット ,  *気体 ,  *エンドミル ,  *冷媒
準シソーラス用語： SiC ,  高品位加工 ,  大気圧プラズマジェット ,  窒素ガス ,  ボールエンドミル ,  クーラント

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (4件)：

• 片平和俊,武末翔吾,渡邉健志,大森整,小茂鳥潤,2015年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,L02 (2013),pp.715-716.
• Katahira, K., Ohmori, H., Takesue, S., Komotori, J., Yamazaki, K., Effect of atmospheric-pressure plasma jet on polycrystalline diamond micro-milling of silicon carbide, Annals of the CIRP, 2015, 64/1, 129-132.
• 宮原秀一,柴田萌,大下貴也,高松利寛,沖野晃俊,化学工学論文集,Vol.39,No.4(2013),pp.372-377.
• 松村隆, 大野威徳, 高橋勇助, ′′小径ボールエンドミルによる石英ガラスの切削特性.′′ 2005年度精密工学会学術講演会講演論文集 (2005), pp.393-393.

タイトルに関連する用語 (7件)： 大気圧プラズマ ,  援用 ,  クーラント ,  開発 ,  ボールエンドミル ,  SiC ,  高品位加工