ダメージフリーマルチガスプラズマジェットによるポリイミドフィルムの親水化処理

宮原秀一; 柴田萌; 大下貴也; 高松利寛; 沖野晃俊

文献

J-GLOBAL ID：201302223841590760 整理番号：13A1826952

ダメージフリーマルチガスプラズマジェットによるポリイミドフィルムの親水化処理

Hydrophilization of Polyimide Film using Damage-Free Multi-Gas Plasma Jet

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著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 39 号： 4 ページ： 372-377 (J-STAGE) 発行年： 2013年
JST資料番号： S0110B ISSN： 0386-216X CODEN： KKRBAW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

ポリイミドフィルムは電子機器の基板材料として昨今広く用いられるようになった.しかし,その表面は難親水性であるため,接着剤での貼合が容易ではなく,強固な接着力を得るためには親水化処理が必須である.その多くは化学的処理によるもの,もしくは真空プラズマを用いるものがほとんどであったが,本論文では,大気圧下で生成・照射が可能なダメージフリーマルチガスプラズマジェット発生源を開発し,これにより発生するアルゴン,窒素および酸素プラズマにより,ポリイミドフィルムの表面親水化実験を行った.効果の高かった窒素と酸素プラズマに関して,処理前後でのフィルム表面の結合状態変化をXPSで観測した.その結果,窒素および酸素どちらのプラズマでも,処理後のフィルム表面では,C=O結合の割合の増加が確認された.次に,大気遮断下で親水化処理実験を行った結果,窒素とアルゴンは大気開放条件に比べて親水化効果が低下したが,酸素はほぼ同じ挙動を示した.これより,窒素プラズマによる親水化には,生成されたプラズマで大気中の酸素がラジカル化される効果が寄与していると結論した.(著者抄録)

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表面処理 , プラズマ応用

引用文献 (15件)：

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