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J-GLOBAL ID：201702244928143909   整理番号：17A0527130

柔らかいマイクロマシニング応用のためのポリジメチルシロキサン膜のウェット化学エッチング特性の公開

Unveiling the wet chemical etching characteristics of polydimethylsiloxane film for soft micromachining applications

著者 (3件)： KAKATI A (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND) ,  MAJI D (National Inst. of Technol., Jamshedpur, IND) ,  DAS S (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27  号： 1  ページ： 015033,1-11  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ウェットエッチングによるPDMSのマイクロマシニングとその関連エッチングパラメータについて検討した。エッチング速度と表面粗さの時間的な非線形性について調べた。エッチング溶液のpHの変動,エッチング速度飽和プロフィルを解析した。マイクロ構造の改善を達成するための珪酸ドープのエッチング液によるPDMS(厚さ100μm)のマイクロマシニングを調べた。100,200μm幅,1cm長さのマイクロチャンネルなどを作製し,PDMS材料のエッチング特性(エッチング速度0.6μm/min)を解析した。珪酸のドーピングによって,表面粗さとアンダーカットが改善されることがわかった。

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *ウェットエッチング ,  *ポリジメチルシロキサン ,  ケイ酸 ,  *エッチング液 ,  加工速度
準シソーラス用語： *化学エッチング ,  エッチング速度 ,  *エッチング溶液 ,  PDMS【重合体】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロマシニング ,  応用 ,  ポリジメチルシロキサン ,  化学 ,  エッチング特性 ,  公開