Chen Jian について
Department of Laser Photoelectric Technology, Southwest Institute of Technical Physics, Chengdu, 610041, China について
Deng Tao について
School of Electronic and Information Engineering, Beijing Jiaotong University, 100044, China について
Liu Zewen について
Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China について
Haizhi Songc について
Department of Laser Photoelectric Technology, Southwest Institute of Technical Physics, Chengdu, 610041, China について
IEEE Conference Proceedings について
ウェットエッチング について
粘性流 について
ケイ素 について
高温 について
細孔 について
熱酸化 について
焼なまし について
界面張力 について
異方性 について
二酸化ケイ素 について
酸化ケイ素 について
推定精度 について
ナノ細孔 について
酸化物薄膜 について
アニーリング について
シリコン酸化物 について
ナノ細孔 について
収縮 について
可能性 について