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J-GLOBAL ID：201702245975781649   整理番号：17A1731221

石英基板に結合したLiTaO_3薄板上の高結合漏れSAW【Powered by NICT】

High-coupling leaky SAWs on LiTaO₃ thin plate bonded to quartz substrate

著者 (8件)： Hayashi Junki (University of Yamanashi, Japan) ,  Gomi Masashi (University of Yamanashi, Japan) ,  Suzuki Masashi (University of Yamanashi, Japan) ,  Kakio Shoji (University of Yamanashi, Japan) ,  Suzaki Haruka (Waseda University, Tokyo, Japan) ,  Yonai Toshifumi (The Japan Steel Works, Ltd., Tokyo, Japan) ,  Kishida Kazuhito (The Japan Steel Works, Ltd., Tokyo, Japan) ,  Mizuno Jun (Waseda University, Tokyo, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 漏れ弾性表面波(LSAW)と縦型LSAW(LLSAWs)はRayleigh型SAWのそれより大きい電気機械結合係数K~2と,より高い相速度のような有益な特性の数を有していた。しかし,それらは基板へのバルク波を放射する連続的にエネルギーを失うので,LSAWとLLSAWsは,固有の減衰を示した。この問題を解決するために,著者らは以前にLSAWとLLSAWsの減衰は,基板の[1,2]よりも高い位相速度を持つ窒化アルミニウム(AlN)薄膜を担持により低減できることを報告した。しかし,K~2はAlN薄膜の圧電性のために減少した。本研究では,高いK~2基質構造を得るために,石英基板に結合したLiTaO_3(LT)薄板上のLSAWとLLSAWsの伝搬特性を実験的に調べた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 窒化アルミニウム ,  *薄板 ,  弾性表面波 ,  位相速度 ,  圧電気 ,  伝搬特性 ,  薄膜 ,  基質
準シソーラス用語： バルク音響波 ,  電気機械結合係数 ,  *石英基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (3件)： 石英基板 ,  薄板 ,  SAW