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J-GLOBAL ID：201702246034209798   整理番号：17A0579291

Al₂O₃,TiO₂,ZnO,HfO₂,ZrO₂の原子層堆積を用いる銅の防食

Corrosion Protection of Copper Using Al₂O₃, TiO₂, ZnO, HfO₂, and ZrO₂ Atomic Layer Deposition

著者 (8件)： DAUBERT James S. (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  HILL Grant T. (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  GOTSCH Hannah N. (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  GREMAUD Antoine P. (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  OVENTAL Jennifer S. (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  WILLIAMS Philip S. (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  OLDHAM Christopher J. (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  PARSONS Gregory N. (North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 4  ページ： 4192-4201  発行年： 2017年02月01日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ALDを用いて,銅金属上にAl₂O₃,TiO₂,ZnO,HfO₂,ZrO₂の超薄膜(~50nm)が形成され,それらの防食性能が,電気化学インピーダンス分光法(EIS)と線形掃引ボルタンメトリ(LSV)によって評価された。NaCl水溶液に対する防食性能は,Al₂O₃とHfO₂が,初期防食性能が高く,長期の防食に対しては,HfO₂が最も優れている。銅表面の前処理と表面粗さが,防食性能に影響することが示される。

シソーラス用語： *防食 ,  *銅 ,  *化学蒸着 ,  *酸化アルミニウム ,  *酸化チタン ,  *酸化亜鉛 ,  *酸化ハフニウム ,  *酸化ジルコニウム ,  超薄膜 ,  スペクトロスコピー ,  ボルタンメトリー ,  水溶液 ,  塩化ナトリウム
準シソーラス用語： リニアスイープボルタンメトリー ,  *原子層堆積 ,  電気化学インピーダンス分光法

分類 (3件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  電極過程  (CB07040U)

タイトルに関連する用語 (8件)： Al2O3 ,  TiO2 ,  ZnO ,  HfO2 ,  ZrO2 ,  原子層堆積 ,  銅 ,  防食