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J-GLOBAL ID：201702246480252147   整理番号：17A1545146

RFマグネトロンスパッタリングによる同時蒸着SmをドープしたZnO薄膜の光学的性質の偏光解析法による研究【Powered by NICT】

Ellipsometric study of optical properties of Sm-doped ZnO thin films Co-deposited by RF-Magnetron sputtering

著者 (6件)： Alsebaie D.M. (Department of Physics, Faculty of Science, King Abdulaziz University, Jeddah, Saudi Arabia) ,  Shirbeeny W. (Department of Physics, Faculty of Science, King Abdulaziz University, Jeddah, Saudi Arabia) ,  Shirbeeny W. (Department of Physics, Faculty of Science, Alexandria University, Egypt) ,  Alshahrie A. (Department of Physics, Faculty of Science, King Abdulaziz University, Jeddah, Saudi Arabia) ,  Alshahrie A. (Center of Nanotechnology, King Abdulaziz University, Jeddah, Saudi Arabia) ,  Abdel-Wahab M. Sh. (Center of Nanotechnology, King Abdulaziz University, Jeddah, Saudi Arabia)
資料名： Optik  (Optik)
巻： 148  ページ： 172-180  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 不揮発性,書き換え可能と超高密度光メモリは希土類元素の原子価状態変化の光還元を必要とする。しかし,高い光透過性を有するナノスケール超高貯蔵媒体の感作が課題となっている。ここでは,無線周波数(RF)スパッタリング堆積法によるZnO薄膜に堆積したSmの光学特性を調べた。Sm~3+含有量,光学的性質,および結晶構造をX線蛍光(XRF),角度可変分光偏光解析法(VASE)およびX線回折(XRD)によりそれぞれ調べた。X線蛍光(XRF)はSm結晶粒の存在を支持と堆積パワーとの割合増加を検証した。VASEデータはSm~3+体積分率と質量厚さ(MT)を決定するための有効媒質近似法(EMA)を用いて適合させた。XRD研究は,ZnOのウルツ鉱型六方晶構造安定性を検証しない結晶構造または位相歪が生じた。複合材料のバンドエネルギーギャップはSm:ZnO含有量と共に減少した。薄膜の粗さと厚さの均一性は,VASE研究により決定し,電界放出走査電子顕微鏡(FESEM)および原子間力顕微鏡(A FM)を用いて確認した。高透過率の最適Smイオン含有量を決定した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *サマリウム ,  *酸化亜鉛 ,  光透過 ,  *偏光解析法 ,  スパッタ蒸着 ,  *ドーピング ,  原子間力顕微鏡 ,  六方晶系 ,  蛍光 ,  複合材料 ,  透過率 ,  *薄膜 ,  結晶構造 ,  *光学的性質 ,  X線回折

著者キーワード (5件)： Ellipsometry ,  RFスパッタリング ,  希土類 ,  体積分率 ,  質量厚さ

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  同時蒸着 ,  Sm ,  ドープ ,  ZnO薄膜 ,  光学的性質 ,  偏光解析法 ,  研究