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J-GLOBAL ID：201702246502019839   整理番号：17A1627514

LZO薄膜のエピタクシーに及ぼす分離熱処理段階で採用された酸素分圧の影響【Powered by NICT】

Influence of oxygen partial pressure adopted in separate heat-treatment steps on the epitaxy of LZO film

著者 (6件)： Wang Yao (Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China) ,  Li Chengshan (Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China) ,  Feng Jianqing (Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China) ,  Jin Lihua (Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China) ,  Yu Zeming (Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China) ,  Zhang Pingxiang (Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 729  ページ： 475-482  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エピタクシーに及ぼす酸素分圧の影響は,イットリア安定化ジルコニア(00l)単結晶基板上に有機金属堆積(MOD)により作製したLa_2Zr_2O_7(LZO)薄膜で系統的に研究した。結果は酸素分圧がエピタキシャル成長だけでなく膜の形態発展にも影響することを示した。LZO膜の集合組織の方向はその表面平坦性が全熱処理プロセス中の酸素分圧の増加に伴って悪化が改善することが観察された。更なる研究は,熱分解段階で高い酸素分圧は,LZO膜のテクスチャー先鋭化,これは有機構成の完全な分解と酸化物膜中の残留炭素の減少に寄与しているに有利であることを示した。しかし,結晶段階で低酸素分圧は,LZO薄膜の表面平坦性の改善を助ける。酸素空孔欠陥の減少と粒径の増加に伴って結晶化段階での酸素含有量の補充と関連したものとした。別々の熱処理段階で調整酸素分圧がLZOバッファ膜の集合組織の方向と表面平坦性の改善に重要である限り,金属基板の酸化は被覆導体における避けることができる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱分解 ,  *熱処理 ,  集合組織 ,  粒径 ,  *エピタクシー ,  単結晶 ,  結晶化 ,  平坦性 ,  *薄膜 ,  被覆 ,  酸化膜
準シソーラス用語： 金属基板 ,  酸素空格子点 ,  YSZ【セラミック】 ,  *酸素分圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 被覆伝導体 ,  バッファ層 ,  金属有機蒸着 ,  エピタクシー

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜 ,  エピタクシー ,  熱処理 ,  段階 ,  採用 ,  酸素分圧