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J-GLOBAL ID：201702246850116478   整理番号：17A1555245

カプセル化障害の低融点シーリングガラスと解析の気密性試験【Powered by NICT】

Hermeticity test of low-melting point sealing glass and analysis of encapsulation failure

著者 (4件)： Tian Rui (School of Material Science and Engineering, Shanghai University, 200072, China) ,  Li Yi (Key Laboratory of Advanced Display and System Applications of Ministry of Education, Shanghai University, 200072, China) ,  Yin Luqiao (Key Laboratory of Advanced Display and System Applications of Ministry of Education, Shanghai University, 200072, China) ,  Zhang Jianhua (Key Laboratory of Advanced Display and System Applications of Ministry of Education, Shanghai University, 200072, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICEPT  ページ： 844-849  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 現代マイクロエレクトロニクスとオプトエレクトロニクス技術の急速な発展に伴い,method,Laser支援ガラスフリットボンディング(レーザ結合と呼ぶ)をシールする新しい可能性のある,長期安定性をもつハーメチックシールを必要とする電子的,光学的,そして小型マイクロメカニカルデバイスのカプセル化のために提案した。本研究では,ビスマス酸塩ガラス粉末とリン酸バナジウム酸塩ガラス粉末同じ有機成分溶媒中で混合し,それぞれ二種類のガラスペーストを作製した。二対ブランクガラス基板は二グループの試験片としてガラスペーストを用いたスクリーン印刷,予備焼結とレーザ結合を示した。次に,これら二種類のシールガラスシステムの気密性を学習するために一連の実験を行った。試験は染料による低圧液体エタノール着色試料を浸漬することによって行った。ビスマス酸塩ガラスフリット臍帯強い定常エロージョン抵抗とりん酸バナジウム酸塩ガラス接合は12時間で分解し始めることを見出した。,著者らはRaman分光法によるカプセル化破壊の機構を解析した。ガラスの表面におけるV~3+とP~5+はH_2O中に溶解し,ガラスネットワーク亀裂と欠陥が出てきたことを示した。時間とともに,浸食の深さより深い。最後に,カプセル化は失敗した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 亀裂 ,  バナジウム酸塩 ,  密封装置 ,  ビスマス酸塩 ,  オプトエレクトロニクス ,  *融点 ,  *ガラス ,  高速度 ,  浸漬 ,  ハーメチックシール ,  *気密性 ,  Raman分光法 ,  レーザ ,  スクリーン印刷
準シソーラス用語： ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  密封装置  (QB01100J) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  燃料電池  (YB04040V)

タイトルに関連する用語 (8件)： カプセル化 ,  障害 ,  低融点 ,  シーリング ,  ガラス ,  解析 ,  気密性 ,  試験