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J-GLOBAL ID:201702246869643604   整理番号:17A1020070

太陽電池のための多結晶シリコンインゴットにおける最適化された核形成制御に向けて【Powered by NICT】

Towards optimized nucleation control in multicrystalline silicon ingot for solar cells
著者 (5件):
資料名:
巻: 468  ページ: 620-624  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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窒化けい素で被覆した単層シリコンビーズ(SLSB)とチャンク(SLSC)をシード層として用いられる高品質多結晶シリコン(mc Si)インゴットを成長させた。mc-Siインゴットをシード層として<1mmから4mmまでの範囲のSiビーズとチャンクの様々なサイズを用いて成長させた。結晶粒サイズ,結晶粒方位と粒界密度はインゴット高さにわたって分析した。SLSBとSLSC播種したmc-Siウエハは,従来のmc-Siウエハと比較してランダム粒界の均一な小結晶粒,よりランダムに配向した結晶粒と高い密度を持つことが分かった。転位クラスタの密度は従来のmc-SiウエハよりもSLSBとSLSC播種したmc-Siウエハで有意に低かった。SLSBとSLSC播種したmc-Siウエハ中の転位クラスタ還元に関与する理由は,粒径の差とランダム粒界の密度に基づいて議論した。しかし,転位クラスタの密度はSLSB播種したmc-SiウエハよりもSLSC播種したmc-Siウエハでわずかに高かった。押込効果とSiの不規則な形状はSLSC mc-Siウエハ中の転位発生および/または増殖を説明する不均一応力を引き起こすchunks。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 
タイトルに関連する用語 (5件):
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