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J-GLOBAL ID：201702247138480289   整理番号：17A1627574

マグネトロンスパッタリングによって蒸着したNbN/MoNナノ多層皮膜の構造と性質【Powered by NICT】

Structure and properties of NbN/MoN nano-multilayer coatings deposited by magnetron sputtering

著者 (4件)： Wang Tao (School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China) ,  Jin Yaolong (School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China) ,  Bai Lijing (School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China) ,  Zhang Guojun (School of Materials Science & Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 729  ページ： 942-948  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MoN層の厚さが1.0~4.3nmのNbN/MoNナノ多層被覆をMoターゲット電流を変えることにより閉磁場非平衡マグネトロンスパッタリングシステムを用いて堆積した。皮膜の構造をX線回折,走査電子顕微鏡,原子間力顕微鏡と透過型電子顕微鏡で調べた。被覆の機械的特性とトライボロジー特性をナノインデンテーションとボールオンディスク摩耗試験で評価した。MoN層の厚さが2.1nmを超えると堆積したままの全てNbN/MoN多層被覆の面心立方B1-NaCl構造と被覆(111)から(200)への優先配向を示すことが分かった。MoN層1.0nmの厚さをもつNbN/MoN多層被覆は40.0GPaの値を持つ超硬度を示した。MoN層の厚さの更なる増加は,被覆の硬度を減少させた。NbN/MoN多層被覆はNbN単層被覆と比較して摩擦と優れた耐摩耗性の低い係数を示した。0.53の低いCOFと0.7×10~ 6mm~3nmの摩耗速度は4.3nmのMoN層の厚さをもつNbN/MoN多層被覆で達成できた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 硬度 ,  *皮膜 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *多層 ,  被覆 ,  X線回折 ,  耐摩耗性 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  優先配向 ,  走査電子顕微鏡 ,  *モリブデン ,  摩耗速度 ,  ナノインデンテーション
準シソーラス用語： 多層コーティング ,  *NbN , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： NbN/MoN被覆 ,  多層被覆 ,  Hardness ,  トライボロジー特性

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  NbN ,  多層 ,  皮膜 ,  性質