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J-GLOBAL ID：201702247761742898   整理番号：17A0565865

軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発(第1報) -周方向修正加工システムの開発-

著者 (2件)： 武井良憲 (東京大学大学院工学系研究科) ,  三村秀和 (東京大学大学院工学系研究科)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 83  号： 3  ページ： 245-250(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本文は,真円度の高精度計測技術を超精密加工に応用し,軟X線集光用回転楕円ミラー用のマンドレルへの適用の実証として,回転体形状加工対象の真円度≦10nmを目指し,マンドレル周方向の形状誤差計測用の静圧多孔質軸受の回転ステージを備えた真円度測定器と高分解能レーザ変位系を組合せた。この測定器の再現性,標準偏差の低減,回転ステージの運動誤差が測定値に及ぼす影響を評価した。修正加工にはノズル型EEMを用いた。

シソーラス用語： 光学素子 ,  標準器 ,  ビーム集束 ,  *回転物体 ,  *鏡 ,  *マンドレル ,  システム ,  方向 ,  *精密研削 ,  *加工システム ,  *開発 ,  再現性 ,  標準偏差 ,  超精密加工
準シソーラス用語： *X線集束 ,  *システム開発 ,  周方向 ,  *制作システム

著者キーワード (8件)： rondness ,  nozzle type EEM ,  figure correction processing ,  X-ray focusing mirror ,  rondness ,  nozzle type EEM ,  figure correction processing ,  X-ray focusing mirror

分類 (1件)： 機械加工,仕上げ一般  (YH04111G)

引用文献 (15件)：

• 1) J. Voss, H. Dadras, C. Kunz, A. Moewes, G. Roy, H. Sievers, I. Storjohann and H. Wongel: A Scanning Soft X-Ray Microscope with an Ellipsoidal Focusing Mirror, Journal of X-Ray Science and Technology 3, 85-108(1992).
• 2) 橋本 洋, 神垣 恵治, 青木 貞雄, 節原 裕一, 畦地 宏, 山中 正宣, 山中 龍彦, 井沢 靖和, 山中 千代衛:Wolter Type 1レプリカX線光学素子の開発,精密工学会誌 54(2), 299-304, (1988)-02-05.
• 3) K. S. Chon, Y. Namba and K-H.Yoon: Precision machining of electroless nickel mandrel and fabrication of replicated mirrors for a soft X-ray microscope, JSME International Journal, Series C (Mechanical Systems, Machine Elements and Manufacturing) v 49 n 1, 56-62(2006).
• 4) M. Hasegawa, H. Taira, T. Harada, S. Aoki and K. Ninomiya: Fabrication of Wolter-type X-ray focusing mirror using epoxy resin" Review of Scientific Instruments v 65 n 8, 2568-73(1994).
• 5) H. Motoyama, T. Saito, and H. Mimura: Error Analysis of Ellipsoidal Mirror for Soft X-ray Focusing by Wave-Optical Simulation, Jpn. J. Appl. Phys. 53 (2014) 022503.

タイトルに関連する用語 (8件)： 軟X線 ,  回転体 ,  ミラー ,  マンドレル ,  作製システム ,  開発 ,  周方向 ,  修正加工