研究者
J-GLOBAL ID:200901067696344669
更新日: 2024年01月05日
三村 秀和
ミムラ ヒデカズ | Mimura Hidekazu
所属機関・部署:
職名:
教授
その他の所属(所属・部署名・職名) (1件):
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特定国立研究開発法人理化学研究所
放射光科学研究センター
チームリーダー
ホームページURL (1件):
https://www.upm.rcast.u-tokyo.ac.jp/
研究分野 (2件):
加工学、生産工学
, 光工学、光量子科学
研究キーワード (3件):
超精密加工・計測
, X線光学
, X-ray Optics Ultra Precision Machining
競争的資金等の研究課題 (16件):
- 2023 - 2027 高精度大型ウォルターミラーの開発とX線望遠鏡・X線顕微鏡への展開
- 2023 - 先端科学技術研究センター 先端光学素子寄付研究部門
- 2020 - 2023 超精密膜厚制御による放射光施設用フリーフォーム型X線ミラーの開発(橋爪寛和)
- 2020 - 2023 X線1nm集光への挑戦
- 2020 - 2023 X線シングルショット顕微分光イメージングの実証
- 2019 - 2023 高精度ウォルターミラー作製による超短パルスX線イメージング法の開発
- 2017 - 2019 高次高調波を利用した超精密形状計測法の開発
- 2016 - 2019 大開口・高効率軟X線集光用回転楕円ミラーの開発(橋爪寛和)分担
- 2015 - 2019 回転体ミラーによる次世代軟X線ナノビーム形成法の開発
- 2013 - 2017 ラボベース軟X線光源用大開口・回転体集光ミラーの開発
- 2011 - 2013 可干渉性X線による回転楕円面形状測定法の開発
- 2010 - 2013 In-situ軟X線集光ミラー形状修正システムの構築
- 2006 - 2010 ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築
- 2006 - 2008 高精度X線ミラー作製のためのナノ精度表面形状転写法の開発
- 2004 - 2006 硬X線用超平坦全反射ミラーの作製とコヒーレントX線による全反射の評価
- Study on Elastic Emission Machining
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論文 (217件):
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Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Takashi Kimura, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Hidekazu Mimura. Soft-X-ray nanobeams formed by aberration-reduced elliptical mirrors with large numerical aperture. Optics express. 2023. 31. 23. 38132-38145
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Katsuhiro Mikami, Masahiko Ishino, Hiroto Motoyama, Thanh-Hung Dinh, Shunya Yokomae, Gota Yamaguchi, Satoru Egawa, Kazuyuki Sakaue, Hidekazu Mimura, Takeshi Higashiguchi, et al. Sub-nanometer scale depth patterning on sapphire crystal by femtosecond soft x-ray laser pulse irradiation. Optics Letters. 2023. 48. 19. 5041-5041
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Yoko Takeo, Kai Sakurai, Noboru Furuya, Kyota Yoshinaga, Takenori Shimamura, Satoru Egawa, Hisao Kiuchi, Hidekazu Mimura, Haruhiko Ohashi, Yoshihisa Harada, et al. Development of soft X-ray ptychography and fluorescence microscopy system using total-reflection wolter mirror and application to measurement of drug-treated mammalian cells. Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 2023. 267. 147380-147380
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Takenori Shimamura, Yoko Takeo, Fumika Moriya, Takashi Kimura, Mari Shimura, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, Kenta Shimba, Yasuhiko Jimbo, et al. Ultracompact mirror device for forming 20-nm achromatic soft-X-ray focus toward multimodal and multicolor nanoanalyses. 2023
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Satoru Egawa, Yusuke Matsuzawa, Kentaro Hiraguri, Hiroto Motoyama, Gota Yamaguchi, Shunya Yokomae, Yoshinori Takei, Takehiro Kume, Shigeki Owada, Kensuke Tono, et al. Figure correction of a Wolter mirror master mandrel by organic abrasive machining. Review of Scientific Instruments. 2023. 94. 5
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MISC (140件):
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松本豊, 竹尾陽子, 竹尾陽子, 山口豪太, 山口豪太, 横前俊也, 横前俊也, 江川悟, 湯本博勝, 小山貴久, et al. X線自由電子レーザーとマイクロ流路デバイスを用いた液中試料観察法の開発. 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web). 2021. 34th
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本山央人, 岩崎純史, 三村秀和, 山内薫. 精密加工と強レーザー場科学の融合. 精密工学会誌. 2020. 86. 12. 951-952
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松本豊, 江川悟, 山口豪太, 横前俊也, 三村秀和, 木村隆志, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦. マイクロ流体デバイスを用いた液中試料X線計測技術の開発の基礎検討. 精密工学会大会学術講演会講演論文集. 2020. 2020
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松本豊, 山口豪太, 横前俊也, 三村秀和, 竹尾陽子, 木村隆志, 江川悟, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦. X線自由電子レーザーを用いたイメージングとデータ解析の高効率化について. 精密工学会大会学術講演会講演論文集. 2020. 2020
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三村 秀和. 高精度ミラー作製のためのナノ精度電鋳プロセスの開発. 電気加工学会誌. 2018. 52. 130. 79-84
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特許 (8件):
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局所研磨加工方法、および局所研磨加工装置、並びに該局所研磨加工装置を用いた修正研磨加工装置
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回転体ミラーを用いたX線集光システムの光学設計及びX線集光システム
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複数の変位計を用いた高精度形状計測方法
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精密電鋳のための気泡除去方法
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X線撮影方法およびX線撮影装置
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書籍 (1件):
Works (1件):
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Center of Excellence for Atomically Controlled Fabrication Technology
2008 -
学歴 (5件):
- 1999 - 2002 大阪大学 大学院工学研究科 精密科学専攻 博士課程
- 1997 - 1999 大阪大学 工学研究科 精密科学専攻 修士課程
- - 1999 大阪大学
- 1993 - 1997 大阪大学 工学部 精密工学科
- - 1997 大阪大学
学位 (1件):
経歴 (7件):
受賞 (5件):
- 2017/01 - 東京大学工学系研究科 平成28年度研究科長表彰(研究部門)
- 2011 - ASPEN2011 Best Paper Award,
- 2009 - JSPE Prize Best Paper Award
- 2009/01 - 日本放射光学会 第13回放射光学会奨励賞受賞
- 2006 - 応用物理学会論文奨励賞
所属学会 (3件):
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