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J-GLOBAL ID：201702247936017680   整理番号：17A1606813

ITOターゲットの焼結特性に及ぼす酸素流速の影響

Effects of oxygen flow velocity on the sintering properties of ITO targets

著者 (8件)： MEI Fangsheng (Central South Univ., Changsha, CHN) ,  MEI Fangsheng (Zhuzhou Smelter Group Co. Ltd., Hunan, CHN) ,  QIN Kai (Central South Univ., Changsha, CHN) ,  YUAN Tiechui (Central South Univ., Changsha, CHN) ,  LI Ruidi (Central South Univ., Changsha, CHN) ,  LIU Langming (Zhuzhou Smelter Group Co. Ltd., Hunan, CHN) ,  CHEN Lisan (Zhuzhou Smelter Group Co. Ltd., Hunan, CHN) ,  ZHAO Weishang (Zhuzhou Smelter Group Co. Ltd., Hunan, CHN)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 28  号： 19  ページ： 14711-14719  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ITO膜の抵抗率及び透過率に及ぼす酸素流量の大きな影響のため,ITOターゲットの焼結特性に及ぼす酸素流速の影響についての研究は,大出力産業での使用を促進する上で積極的な役割を果たす。相組成,微細モフォロジー,密度,質量損失比,酸素含有量,抵抗率及び元素化学状態を用いて,ITOターゲットの微細構造及び組成に及ぼす酸素流速の作用機構を明らかにする。10L/分の酸素流速下で焼結したITOターゲットは,99.83%の非常に高い比密度,1.417%の質量損失比及び1.583×10^-4Ω・cmの最小比抵抗を示す。酸素流速の増加は,焼結炉内の酸素分圧を増加し,そのことは,インジウム対スズの質量含有量比を維持し,ITOターゲットの抵抗を減少させる結果として,全焼結プロセスを通して質量輸送機構に影響し,ITOターゲット密度を改善し,そして,ターゲット内部でのInO形成を減少させると結論づけることができる。ここでは,SnO₂損失(分解及び蒸発)は,文献からITO焼結中の質量損失の大部分とする。しかし,より高い流速は,ターゲット表面から蒸発種を運ぶ能力のために,高い焼結温度では,ターゲット表面のSnO₂損失に主に影響し,ターゲット内部には影響しない可能性がある。この結果から,焼結雰囲気を制御することによって,高品質ITOターゲット合成に関する有用な情報が与えられる。

シソーラス用語： *酸化インジウムスズ ,  ターゲット ,  *焼結性 ,  *酸素 ,  流速 ,  X線回折 ,  電子プローブX線分析 ,  X線光電子分光法 ,  相組成 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  密度 ,  電気抵抗率
準シソーラス用語： ITO ,  焼結特性 ,  表面モルフォロジー

分類 (1件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I)

タイトルに関連する用語 (5件)： ITO ,  ターゲット ,  焼結特性 ,  酸素 ,  流速