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J-GLOBAL ID：201702248972353766   整理番号：17A1035596

RF応用のための圧電Lamb波ディスク形状MEMS共振器【Powered by NICT】

A piezoelectric lamb-wave disk-shape MEMS resonator for RF applications

著者 (4件)： Zadehsafari Mohsen (Microelectronic Research Lab., Electrical Engineering Department, Sahand University of Technology, Tabriz, Iran) ,  Zolfaghari Parviz (Microelectronic Research Lab., Electrical Engineering Department, Sahand University of Technology, Tabriz, Iran) ,  Akbari Amir (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Science and Research Branch, Islamic Azad University, Tehran, Iran) ,  Ghavifekr Habib Badri (Microelectronic Research Lab., Electrical Engineering Department, Sahand University of Technology, Tabriz, Iran)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICEEE  ページ： 28-32  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,窒化アルミニウム(AlN)薄膜Lamb波共振器のための新しい構造について報告した。電極は種々の電極配置を持つ構造における波動伝搬を研究するための異なる型の構造にした。この目的のために,いくつかの電極配置を導入し,そのシミュレーション結果を提示した。シミュレーション結果を論文で示し,波伝搬に関する議論。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： シミュレーション ,  *形態 ,  *共振器 ,  *圧電気 ,  *Lamb波 ,  窒化アルミニウム ,  波動伝搬 ,  *円板 ,  薄膜
準シソーラス用語： 電極配置 ,  *MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 音波伝搬  (BB03030G) ,  地震波伝搬  (DC03040W) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  応用 ,  圧電 ,  Lamb波 ,  ディスク形状 ,  MEMS共振器