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J-GLOBAL ID：201702249300251887   整理番号：17A0364746

原子層堆積により成長させたナノ結晶ZrO_2膜の結晶特性に及ぼすLa(NO_3)_36H_2O溶液の酸化剤効果【Powered by NICT】

Oxidant effect of La(NO₃)₃ 6H₂O solution on the crystalline characteristics of nanocrystalline ZrO₂ films grown by atomic layer deposition

著者 (11件)： Oh Nam Khen (Graduate School of Energy Science and Technology, Chungnam National University, 99 Daehak-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34134, Korea) ,  Oh Nam Khen (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea) ,  Kim Jin-Tae (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea) ,  Kim Jin-Tae (Department of Nanomaterials Science and Engineering, University of Science and Technology, 217 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea) ,  Kang Goru (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea) ,  An Jong-Ki (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea) ,  Nam Minwoo (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea) ,  Kim So Yeon (Graduate School of Energy Science and Technology, Chungnam National University, 99 Daehak-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34134, Korea) ,  Park In-Sung (Institute of Nano Science and Technology, Hanyang University, 222 Wangsimni-ro, Seongdong-gu, Seoul 04763, Korea) ,  Yun Ju-Young (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS), 267 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea) ,  Yun Ju-Young (Department of Nanomaterials Science and Engineering, University of Science and Technology, 217 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 34113, Korea)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 394  ページ： 231-239  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属前駆体とLa(NO_3)36H_2O溶液としてCpZr[N(CH_3)2]3(Cp=C_5H_5)を用いた酸素源として原子層蒸着法により合成したナノ結晶ZrO_2膜。堆積ZrO_2膜中のLa元素は検出されなかったその含有量をX線光電子分光法の分解能限界以下であった。酸化剤として従来使用されてきたH_2OへのLa(NO_3)36H_2O溶液の代替導入は成長させたZrO_2膜の結晶構造,粒径,および表面粗さを効果的に変えた。特に,ZrO_2膜の結晶構造は単斜晶系相から正方晶と単斜晶相の混合物から変化した。平均粒径も増加し,得られた膜の表面は粗くなった。10 20 30,および40%の濃度でLa(NO_3)36H_2O溶液から調製したZrO_2膜の平均粒径は280%,256%,208%,および200nmであったが,H_2O酸化剤を用いて調製したものは142nmであった。しかし,La(NO_3)36H_2O溶液の濃度がナノ結晶ZrO_2膜の結晶特性,すなわち結晶サイズを除いて結晶構造,粒径,および表面粗さ影響はわずかであった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 単斜晶系 ,  *ナノ結晶 ,  X線光電子分光法 ,  正方晶系 ,  *結晶 ,  結晶構造 ,  前駆体 ,  粒径 ,  凝集 ,  *ランタン
準シソーラス用語： 平均粒子径 ,  *ALCVD , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ZrO_2 ,  原子層堆積 ,  La(NO_3)_36H_2O解 ,  凝集 ,  結晶構造 ,  粒径

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 原子層堆積 ,  成長 ,  ナノ結晶 ,  結晶 ,  La ,  溶液 ,  酸化剤