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J-GLOBAL ID：201702249367643267   整理番号：17A0445497

シリコン上の(Ti,Fe)N_x薄膜のナノ引かき試験【Powered by NICT】

Nano-scratch testing of (Ti,Fe)N_x thin films on silicon

著者 (3件)： Beake B.D. (Micro Materials Ltd., Willow House, Ellice Way, Yale Business Village, Wrexham LL13 7YL, UK) ,  Vishnyakov V.M. (Materials Research Institute, University of Huddersfield, Huddersfield HD1 3DH, UK) ,  Harris A.J. (Micro Materials Ltd., Willow House, Ellice Way, Yale Business Village, Wrexham LL13 7YL, UK)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 309  ページ： 671-679  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (Ti,Fe)N_xの薄膜を,ナノ引かき試験における高負荷滑り接触における押込と亀裂抵抗により測定した機械的性質の間の相関を調べるために広範な組成と機械的性質を有するシリコンウエハ上に作製した。~1μm端半径と良く摩耗Berkovich圧子を用いて薄膜のナノスクラッチ試験データを,高分解能走査電子顕微鏡(SEM)画像と解析的応力モデル化により支持された。結果は,被覆,その厚さ及び基板特性の機械的性質は全ての変形プロセスに影響を及ぼすことを示した。必要な臨界荷重,観測された故障の種類と移動プローブへのそれらの位置に影響する。コーティングの機械的特性の違いは,界面が弱くなる(すなわち初期基板または被覆降伏によってあるいは両方)方法に影響を及ぼし,変形破壊機構を決定した。摩擦係数の荷重依存性は,滑り接触領域の詳細と滑りプローブと比較して破壊の位置を提供する。改善された性能は,薄膜上のナノ引かき試験における中間硬度とH~3e~2で達成された。摩擦とモデリングの結果は,もっとも硬い被覆に及ぼす低負荷においては,損傷した接触域と基質収率の後での高い引張応力の組合せに起因することを示唆した。組込み散逸構造(ソフトと低弾性率介在物のような)による保護被覆とストレスと戦うための機構のための薄膜の設計その硬度を増加させることによって可塑性を最小化するための目的よりも高負荷滑り条件でのそれらの靭性を最適化するためのより良好な経路である可能性がある。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *引かき試験 ,  滑り接触 ,  介在物 ,  摩擦係数 ,  モデリング ,  引張応力 ,  界面 ,  塑性 ,  摩耗 ,  走査電子顕微鏡 ,  靱性 ,  硬度 ,  終局荷重
準シソーラス用語： 荷重依存性 ,  破壊機構 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 亀裂抵抗 ,  保護被覆 ,  ナノ引かき ,  ソフト包有物 ,  H~3e~2

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  Ti ,  Fe ,  薄膜 ,  引かき試験