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J-GLOBAL ID：201702249702453247   整理番号：17A0922688

超音波ナノインプリントリソグラフィーにおける低エネルギー損失を目的とした着脱可能なモールド固定方法の比較評価

Comparative evaluation of detachable mold fixing methods aimed at low energy loss for ultrasonic nanoimprint lithography

著者 (2件)： MEKARU Harutaka (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  YANO Takayuki (National Inst. Natural Sci., Aichi, JPN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 7  ページ： 2707-2717  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,プラスチックのパターニング方法として有用な超音波ナノインプリントリソグラフィー(U-NIL)の超音波ホーンに,着脱可能なモールドを固定する方法を報告した。超音波振動のエネルギー伝達効率に着目し,冷やしばめ方法に加えて3つの従来方法を含めた4つの固定方法を評価した。固着剤を使用して,ダミーモールドを超音波ホーンに取り付ける方法がU-NILで最も適切であることが分った。スクリュークランプと接着剤固定の両方法では,発熱を抑制したが,両面テープで1分間超音波振動を印加した場合,温度は45°C付近まで段階的に上昇した。超音波ホーンとモールド間への異物の挿入は避けなければならない。

シソーラス用語： *パターン転写 ,  *押付成形 ,  超音波 ,  リソグラフィー ,  *エネルギー移動 ,  *はめ合 ,  エネルギー損失 ,  発熱
準シソーラス用語： *ナノインプリント ,  *エネルギー伝達 ,  *冷しばめ

分類 (1件)： 化学装置一般  (XB01010S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超音波 ,  ナノインプリントリソグラフィー ,  低エネルギー ,  損失 ,  モールド ,  比較評価