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J-GLOBAL ID：201702249735666090   整理番号：17A0839718

ナイフエッジ変位感知技法を使う線形ナノ位置決め段の二自由度運動測定のための新しいセンサ

A novel sensor for two-degree-of-freedom motion measurement of linear nanopositioning stage using knife edge displacement sensing technique

著者 (4件)： Zolfaghari Abolfazl (Department of Mechanical Engineering, Tennessee Technological University, 1 William L Jones Dr., Cookeville, Tennessee 38505, USA) ,  Jeon Seongkyul (Department of Mechanical Engineering, Tennessee Technological University, 1 William L Jones Dr., Cookeville, Tennessee 38505, USA) ,  Stepanick Christopher K. (Department of Mechanical Engineering, Tennessee Technological University, 1 William L Jones Dr., Cookeville, Tennessee 38505, USA) ,  Lee ChaBum (Department of Mechanical Engineering, Tennessee Technological University, 1 William L Jones Dr., Cookeville, Tennessee 38505, USA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 88  号： 6  ページ： 065110-065110-6  発行年： 2017年06月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文は,撓みに基づくナノ位置決めシステムの二自由度(DOF)運動を,光ナイフエッジ感知(OKES)技術に基づいて測定する新しい方法を述べ,それは二つの重ねた波:光の一次源からの幾何学波と二次源からの境界回折波の干渉を利用する。この技法は,ナノ位置決めシステムの直線及びピッチ運動の2DOF運動測定を可能にする。二個の容量センサ(CS)を,ナノ位置決めシステムの運動の同時測定による,提案したセンサとのベースライン比較のために使う。実験結果は提案したセンサがCSの基本的直線運動と密に一致することを示す。しかし2DOF OKES技術はCSより,ピッチ運動に」約三倍敏感であることを示した。二つのセンサ出力の不一致を,測定原理,線形性,帯域幅,制御の有効性及び分解能に関して論じる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *位置決め ,  ナノテクノロジー ,  計測 ,  運動 ,  *センサ ,  光干渉

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (8件)： ナイフエッジ ,  変位 ,  感知 ,  技法 ,  線形 ,  ナノ位置決め ,  自由度 ,  運動測定