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J-GLOBAL ID：201702249876272874   整理番号：17A1374933

X線集光用超小型KBミラーの提案と作製プロセスの開発

著者 (4件)： 島村勇徳 (東大 大学院工学系研究科) ,  本山央人 (東大 大学院工学系研究科) ,  西岡勇人 (東大 大学院工学系研究科) ,  三村秀和 (東大 大学院工学系研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M03  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,X線の極限集光を目的として,2枚の超小型ミラーによるKB型集光システムを提案する。その際,焦点距離とミラー全長を数mmと極端に短くすることで,アラインメント精度の許容値が大幅に緩和する。小型化に伴う高い加工分解能の実現のため,作製方法として微小スポット成膜法を提案し,装置を開発した。本発表では,超小型X線ミラーの特徴とその作製プロセスの現状について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *反射鏡 ,  *光学系 ,  小型 ,  *ビーム集束 ,  限界 ,  空間分解能 ,  精度 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  形状測定 ,  干渉計 ,  *スパッタ蒸着 ,  焦点距離 ,  *アラインメント ,  回転楕円体 ,  軟X線 ,  *光学設計 ,  全反射 ,  *薄膜成長 ,  光干渉法
準シソーラス用語： *カークパトリック・バエズ鏡 ,  超小型 ,  *X線集束 ,  回折限界 ,  アライメント精度 ,  白色干渉法

分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

引用文献 (3件)：

• H, Mimura et al., Appl. Phys. Lett. 90, 051903 (2007)
• H, Mimura et al., Nature Physics 6, 146 (2010)
• Gene E. Ice et al., Review of Scientific Instruments 71, 2635 (2000)

タイトルに関連する用語 (7件)： X線 ,  集光 ,  ミラー ,  提案 ,  作製 ,  プロセス ,  開発