文献

J-GLOBAL ID：201702251523259669   整理番号：17A1834046

表面エンコーダのための多重0基準標識を用いた交差回折格子の設計と製作【Powered by NICT】

Design and fabrication of a crossed grating with multiple zero-reference marks for surface encoders

著者 (2件)： Mao Xinyu (Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Zeng Lijiang (Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CLEO-PR  ページ： 1-2  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 交差格子構造の地域における多重零参照マークを持つ新しい交差格子を提案した。作製プロセス及び性能試験の結果は本論文で紹介した。実験結果は,交差回折格子の回折効率は,零種の参照マークのために14%から12%に減少させるだけであることを示した。零リファレンスマークを取り付け,それらの繰返し位置決め精度は15.1nmに達した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 格子構造 ,  *符号器 ,  *多重化 ,  性能試験 ,  回折効率 ,  *回折格子
準シソーラス用語： 位置決め精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  光の散乱,回折,干渉  (BD03030M)

タイトルに関連する用語 (7件)： エンコーダ ,  多重 ,  標識 ,  交差 ,  回折格子 ,  設計 ,  製作