Barmak Katayun について
Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University, New York, New York 10027 について
Liu Jiaxing について
Department of Applied Physics and Applied Mathematics, Columbia University, New York, New York 10027 について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
スパッタ蒸着 について
タングステン について
堆積速度 について
下層 について
効果 について
準安定相 について
共有結合 について
イオン結合 について
結晶度 について
基板効果 について
金属薄膜 について
金属の結晶構造 について
薄膜成長技術・装置 について
スパッタ堆積 について
タングステン について
堆積速度 について
下地層 について