文献

J-GLOBAL ID：201702252633477769   整理番号：17A0634823

ハイブリッド有機-無機フォトニクスのための材料及び構造の作製及び特性評価

Fabrication and characterization of materials and structures for hybrid organic-inorganic photonics

著者 (4件)： HASKO Daniel (International Laser Centre, Bratislava, SVK) ,  CHOVAN Jozef (International Laser Centre, Bratislava, SVK) ,  UHEREK Frantisek (International Laser Centre, Bratislava, SVK) ,  UHEREK Frantisek (Slovak Univ. Technol., Bratislava, SVK)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 123  号： 3  ページ： 203,1-5  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無機材料と有機材料との集積を直接結び付けた新しいフォトニクス素子を開発した。無機材料技術は,高いレベルの集積を可能にする基礎であり,有機材料は,付加的な新しい複雑な機能性を与えた。結果は,3D光学顕微鏡及び原子間力顕微鏡法が,ハイブリッド有機-無機集積フォトニクス作製プロセスの最適化に適していることを示した。作製ストリップ導波路は台形であったが,通信波長での導波を可能にした。マスク広がりの係数は有機材料ならびに各無機材料に対して異なり,これらの値が著者らのクリーンルームでの参照として定義された。

シソーラス用語： *有機-無機ハイブリッド ,  *集積光学 ,  光学顕微鏡法 ,  原子間力顕微鏡 ,  *導波路 ,  *二酸化ケイ素 ,  ケイ素 ,  *光導波路 ,  *RIE【エッチング】 ,  クリーンルーム ,  屈折率 ,  *フッ化ビニリデン-トリフルオロエチレン共重合体
準シソーラス用語： *フォトニクス ,  *ストリップ導波路 ,  VDF-TrFE

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (3件)： フォトニクス ,  作製 ,  特性評価