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J-GLOBAL ID：201702253060972656   整理番号：17A1090523

多重パターニングプロセスのための中間層検証法

Interlayer Verification Methodology for Multi-patterning Processes

著者 (5件)： JUNG Sunwook (Mentor Graphics, Gyeonggi-do) ,  PARK Sejin (Samsung Electronics Co., Ltd, Gyeonggi-do, KOR) ,  KIM Jungmin (Samsung Electronics Co., Ltd, Gyeonggi-do, KOR) ,  KIM Jinhee (Mentor Graphics, Gyeonggi-do) ,  JOHN Sturtevant (Mentor Graphics, OR)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10147  ページ： 101470J.1-101470J.9  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： コンパクトモデルによるプロセス変動性予測は,ときとして一つの最終ターゲットを作るための多重パターニングプロセスに限定される。この連続プロセスを,単一リソエッチプロセスから導けないが複数層の相互作用から導ける代表モジュールと称する。多重パターニング拡張のための課題は,設計と多重パターニングの強度変動を適切な制限と中間層誤差の可視化で扱うことである。故障メカニズムを検証し可視化を助ける検証フローを示し,既存のモデルベースソリューションで改善できる領域を判定した。そして,コンパクトモデルからの精密誤差予測開発のために可能な領域の調査を試みた。これらの誤差は多重プロセス効果から最終のCD測定に蓄積されるからである。

シソーラス用語： 層 ,  変動 ,  強度ゆらぎ ,  可視化 ,  機構 ,  データベース ,  モデリング ,  *検証
準シソーラス用語： コンパクトモデル ,  プロセスモデリング ,  プロセス変動 ,  モデルベース ,  強度変動 ,  故障メカニズム ,  *多重パターニング ,  *中間層

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多重 ,  パターニング ,  プロセス ,  中間層 ,  検証