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J-GLOBAL ID：201702253394020212   整理番号：17A1634984

オーバレイ測定のための不安定な6自由度6脚段階の予測モデルベースMIMO運動制御【Powered by NICT】

Predictive-model-based MIMO motion control of an unstable 6-DoF hexapod stage for overlay measurements

著者 (4件)： Witvoet Gert (TNO Technical Sciences, Optomechatronics department, P.O. Box 155, 2600 AD Delft) ,  Kulper Stefan (TNO Technical Sciences, Optomechatronics department, P.O. Box 155, 2600 AD Delft) ,  Kramer Geerten (TNO Technical Sciences, Optomechatronics department, P.O. Box 155, 2600 AD Delft) ,  Baeten Max (TNO Technical Sciences, Optomechatronics department, P.O. Box 155, 2600 AD Delft)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CCTA  ページ： 726-731  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体素子の正しい機能性は素子層の間の重なり方の性能に依存する。将来の小さい装置特徴が,その結果としてより正確なオーバレイ計測ツールを必要とする。本論文では,マーカーに特徴距離を直接測定し,このツールの心臓である大ストローク6自由度6脚運動ステージの制御器の設計に焦点を当てた大きなダイナミックレンジA FMオーバーレイツールを提案した。段階は磁気重力補償,初期モデルベースMIMOコントローラ設計,有限要素モード解析,幾何学的デカップリングとSISOループ整形に基づくを必要とするに起因する開ループ不安定である。このコントローラは実験で検証に成功した閉ループシステム同定後にさらにコントローラの改善は,閉ループ位置誤差で1nm RMSのを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 閉ループ系 ,  *予測モデル ,  *自由度 ,  デカップリング ,  *運動制御 ,  制御装置 ,  半導体素子 ,  ダイナミックレンジ ,  モード解析
準シソーラス用語： ループ整形 ,  SISO ,  制御設計 ,  *モデルベース ,  重力補償 ,  *MIMO , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： システム設計・解析  (IA02030D) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (6件)： オーバレイ ,  6自由度 ,  段階 ,  予測モデル ,  MIMO ,  運動制御