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J-GLOBAL ID:201702253886387600   整理番号:17A0445575

大気圧誘電体バリア放電による光触媒アナターゼ二酸化チタン膜の蒸着【Powered by NICT】

Deposition of photocatalytic anatase titanium dioxide films by atmospheric dielectric barrier discharge
著者 (10件):
資料名:
巻: 310  ページ: 173-179  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,TiO_2膜は室温で大気圧下での誘電体バリア放電(DBD)装置を用いたチタンテトライソプロポキシド(TTIP)から一段階過程で容易に析出した。堆積TiO_2膜の表面形態を走査電子顕微鏡(SEM)によって観察した。堆積TiO_2膜が凝集体のナノメートルサイズの粒子を示した。断面画像はTiO_2膜の蒸着速度は約70nm分~ 1であり,従来の低圧化学蒸着(CVD)(典型的には<4nm分~ 1)よりはるかに速いに達することができることを示した。膜の構造組成と光学的性質を確認するために,すれすれ入射X線回折(GIXRD),Raman分光法,X線光電子分光法(XPS),およびFourier変換赤外分光法(FTIR)を採用した。堆積TiO_2膜はUV照射下でメチレンブルーの分解に良好な光触媒活性を示すは部分的に結晶であった。673Kでのアニーリング後,TiO_2膜はアナターゼ相と均一なナノ粒子により構成されていた。アニーリング(約0.6時間~( 1))後TiO_2膜のメチレンブルーの光触媒分解速度は堆積したままのTiO_2膜(~0.16時間~( 1))のそれよりおよそ4倍大きかった。誤差バーを考慮すると,アニーリング後TiO_2膜の光触媒分解速度は市販アナターゼTiO_2スピンコート膜のそれと同じであった。TiO_2膜は3リサイクル光触媒測定中に優れた光触媒安定性を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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酸化物薄膜  ,  光化学一般 
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