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J-GLOBAL ID：201702253897854067   整理番号：17A1090552

OPCモデルキャリブレーションにおける光学的類似性の適用

Application of optical similarity in OPC model calibration

著者 (1件)： TEJNIL Edita (Mentor Graphics Corp., CA, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10147  ページ： 101471Q.1-101471Q.13  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： リソグラフィプロセス開発時間の短縮にOPCモデルを正確に効率良くキャリブレートする方法が望まれている。リソグラフィモデルキャリブレーションに使うレイアウトパターンの比較にOPCモデルの光学的強度から導いた光学的類似性の概念を導入した。フルチップに適用するための光学強度計算は基本関数への光システム伝達関数の分解を含んでいる。光学的類似性解析は異なる光学的カーネルからの全体強度への寄与を比較している。もしも異なる光学的カーネルからの相対強度寄与が同じ二つのパターンがあるとすると,二つのパターンは同じととらえる。多くのパターンからキャリブレーション用のパターンを選択する方法を記した。複雑な検証データにフィットするモデル改善のために,異なるキャリブレーションパターンに相対重みを適用する系統的方法も記した。本モデルはフルチップレイアウトでパターンカバレジを確実にするモデルキャリブレーションのためのパターン選択プロセスを改善し,全体的OPCモデル品質を高める。

シソーラス用語： 補正 ,  *キャリブレーション ,  リソグラフィー ,  光学模型 ,  *類似性 ,  伝達関数
準シソーラス用語： カーネル ,  モデル較正 ,  光学モデル ,  *光近接効果補正

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： OPC ,  光学 ,  類似性