Schulz Christian について
Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany について
Rolfes Ilona について
Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany について
Oberberg Moritz について
Institute for Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr-University, Bochum 44801 Bochum, Germany について
Awakowicz Peter について
Institute for Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr-University, Bochum 44801 Bochum, Germany について
IEEE Conference Proceedings について
三次元 について
電磁場 について
プラズマ処理 について
適応性 について
プローブ について
低圧 について
シミュレーション について
ロバスト性 について
プラズマ について
多重極 について
酸素プラズマ について
パラメータ変動 について
アドミタンス について
衝突周波数 について
反射率測定 について
プラズマ診断 について
RF について
反射率測定 について
低圧 について
プラズマ について
衝突周波数 について