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J-GLOBAL ID：201702254366194711   整理番号：17A1637537

走査透過型電子顕微鏡を用いた電子ビーム吸収電流イメージングシステムの開発【Powered by NICT】

The development of electron beam absorbed current imaging system using scanning transmission electron microscope and its application

著者 (7件)： Suzuki Yuya (Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan) ,  Matsumoto Hiroaki (Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan) ,  Tanaka Hiroyuki (Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan) ,  Kageyama Akira (Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan) ,  Nagakubo Yasuhira (Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan) ,  Nakamura Kuniyasu (Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan) ,  Mizuno Takayuki (Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IPFA  ページ： 1-6  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来SEMナノプロービングシステムよりも高い空間分解能を実現するために,新しい電子ビーム吸収電流イメージングシステムを新たに日立HD2700200kV専用STEMを用いて開発した。試料ホルダは電流検出とTEMグリッド試験片の機械的プローブを収容する。ホルダをそれぞれX,Y及びZ軸プローブ制御のためのマイクロメータベース粗位置決めと圧電素子ベース精密位置決め機構を持っている。プローブと試料から吸収された電流は,EBAC増幅器によるSTEMソフトウェアによる画像として表示した。電気接触を得るために半導体デバイスのFIB調製ラメラ試料上へのプロービングを行った。EBACとEBIC像は明らかに高い空間分解能で可視化した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *電子ビーム ,  位置決め ,  圧電素子 ,  電子線誘起電流 ,  可視化 ,  *電流 ,  プローブ ,  空間分解能 ,  半導体素子 ,  増幅器
準シソーラス用語： プロービング ,  電気接触 ,  精密位置決め ,  電流検出 ,  *イメージングシステム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： 走査透過型電子顕微鏡 ,  電子ビーム ,  イメージングシステム ,  開発