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J-GLOBAL ID：201702254450436639   整理番号：17A1645811

MEMSベース容量型加速度計の構造設計と最適化【Powered by NICT】

Structural design and optimization of MEMS based capacitive accelerometer

著者 (2件)： Sanyal Keya (ECE Department, Camellia Institute of Engineering & Technology, Durgapur, India) ,  Biswas Kalyan (ECE Department MCKV Institute of Engineering Liluah, Howrah, India)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： DevIC  ページ： 294-298  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の相互接続を有する対称梁・質量構造を有するMEMS容量性加速度計は,本論文で記述されている。H形ビーム容量加速度計の設計を有限要素解析ソフトウェアを用いて記述した。出力電圧は,与えられた加速度に対して計算しただけでなく,デバイスの感度を解析した。デバイスの感度を改善するために,二種の新しいコネクタ構造が提案されている。特に加速度ではプルーフマスの変位は57%と66%をほとんど増加し,感度は7.71pF/gからそれぞれ13.0pF/gと13.8pF/gに向上した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： コネクタ ,  *加速度計 ,  *最適化 ,  *MEMS ,  対称性 ,  *構造設計 ,  ソフトウェア ,  相互接続 ,  *加速度
準シソーラス用語： 出力電圧 ,  有限要素解析 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  加速度計 ,  構造設計 ,  最適化