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J-GLOBAL ID：201702255215609986   整理番号：17A1712732

センシング応用のための標準的フォトリソグラフィープロセスによる多孔質シリコン微小共振器【Powered by NICT】

Porous silicon micro-resonator implemented by standard photolithography process for sensing application

著者 (11件)： Girault P. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France) ,  Azuelos P. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France) ,  Lorrain N. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France) ,  Poffo L. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France) ,  Lemaitre J. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France) ,  Pirasteh P. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France) ,  Hardy I. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France) ,  Hardy I. (UMR FOTON, CNRS, IMT Atlantique, F29238, Brest, France) ,  Thual M. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France) ,  Guendouz M. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France) ,  Charrier J. (UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
資料名： Optical Materials  (Optical Materials)
巻： 72  ページ： 596-601  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0468A  ISSN： 0925-3467  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多孔質シリコンリッジ導波路に基づく微小共振器は通常使用されるエバネセントの代わりに体積検出原理に基づいた低コストかつ高感度センサを得るために大規模標準のフォトリソグラフィー工程によって実行される。リッジ導波路の多孔性は,標的分子がコアに浸透であり,伝搬光との直接相互作用により検出することができた。半径100μmの結合長70μmのレーストラック型共振器は,異なる濃度のグルコースの体積検出のための光学的に特性化した。560nm/RIUの高い感度は,ただ一つのマイクロ共振器で達成され,0.7g/Lのグルコース濃度に相当する8.10~ 5RIUの検出限界が得られた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *共振器 ,  *フォトリソグラフィー ,  *微小共振器 ,  リッジ導波管 ,  *多孔質シリコン ,  核間距離 ,  多孔性 ,  高感度 ,  相互作用 ,  センサ ,  検出限界 ,  キャラクタリゼーション ,  ヘキソース ,  アルドース
準シソーラス用語： 標的分子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： センサ ,  集積光学 ,  光学設計と製作 ,  共振器 ,  多孔質シリコン

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： グルコース

タイトルに関連する用語 (6件)： センシング ,  応用 ,  標準 ,  フォトリソグラフィープロセス ,  多孔質シリコン ,  微小共振器