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J-GLOBAL ID：201702255521690380   整理番号：17A1459844

磁気レオロジー研磨によるTEM試料調製のためのイオンビーム薄片化の最適化された前間伐方法【Powered by NICT】

Optimized pre-thinning procedures of ion-beam thinning for TEM sample preparation by magnetorheological polishing

著者 (7件)： Luo Hu (College of Mechanical and Vehicle Engineering, Hunan University, Changsha, Hunan, 410082, PR China) ,  Yin Shaohui (College of Mechanical and Vehicle Engineering, Hunan University, Changsha, Hunan, 410082, PR China) ,  Yin Shaohui (Key Laboratory for Intelligent Laser Manufacturing of Hunan Province, Hunan University, Changsha, Hunan, 410082, PR China) ,  Zhang Guanhua (College of Mechanical and Vehicle Engineering, Hunan University, Changsha, Hunan, 410082, PR China) ,  Liu Chunhui (College of Material Science and Engineering, Hunan University, Changsha, Hunan, 410082, PR China) ,  Tang Qingchun (College of Mechanical and Vehicle Engineering, Hunan University, Changsha, Hunan, 410082, PR China) ,  Guo Meijian (College of Mechanical and Vehicle Engineering, Hunan University, Changsha, Hunan, 410082, PR China)
資料名： Ultramicroscopy  (Ultramicroscopy)
巻： 181  ページ： 165-172  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0972A  ISSN： 0304-3991  CODEN： ULTRD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオンビーム薄肉化を透過型電子顕微鏡(TEM)のための十分に確立された試料調製法であるが,面倒な手順と労働消費前間伐はその効率を低下させる可能性があった。本研究では,マニュアルラッピングとディンプルを置換し,MR研磨と片面イオンミリング後の透明単結晶シリコン試料の作製に成功したことを実証するために磁気レオロジー(MR)研磨を用いて簡単な前間伐技術を示した。30ミクロン以下と機械的表面損傷前間伐ディンプルを最適化MR研磨条件下で繰り返した。MR研磨と従来法の両方による前間伐試料はイオンビーム穿孔まで裏面から薄くし,光学顕微鏡とTEMで観察した。結果をMR法による前間伐試料はディンプリング関連欠陥,従来法による前薄くした試料ではまだ残留したがないことを示した。ニース高分解能TEM画像は,MR研磨と片面イオンシンニング後に得ることができた。MR研磨はTEM試料の調製における前間伐のための適応可能で効率的な方法である,特に脆性セラミックスのに有望である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *試料調製 ,  高分解能 ,  *磁気 ,  *イオンビーム ,  画像 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *研磨 ,  穿孔 ,  *最適化 ,  光学顕微鏡 ,  *間伐 ,  セラミック ,  イオンエッチング
準シソーラス用語： ディンプル , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 透過型電子顕微鏡観察 ,  試料調製法 ,  イオンミリング ,  前間伐 ,  磁気粘弾性流体研磨

分類 (3件)： 合成鉱物  (CD01040K) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  コロイド化学一般  (CB11010C)

タイトルに関連する用語 (8件)： 磁気レオロジー ,  研磨 ,  TEM ,  試料調製 ,  イオンビーム ,  薄片 ,  最適化 ,  間伐