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J-GLOBAL ID：201702256185983281   整理番号：17A1358217

硬質けい素とフレキシブルポリイミド膜から成るハイブリッド構造の微細加工【Powered by NICT】

Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible polyimide membranes

著者 (6件)： Murakami Sunao (Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan) ,  Ishihara Daisuke (Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan) ,  Araki Masateru (Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan) ,  Horie Tomoyoshi (Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan) ,  Ohira Naoto (Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan) ,  Ito Takahiro (Department of Mechanical Information Science and Technology, Faculty of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology (Kyutech), Iizuka, Fukuoka, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： NEMS  ページ： 840-843  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単結晶シリコン(SCS)とフレキシブルなポリイミド(PI)膜の剛性構造から成るミリメータスケール翼形状ハイブリッドミクロ構造を設計し,微細加工した。昆虫羽ばたき飛行を模倣した翼形状微細構造は流体-構造物相互作用解析を用いて設計し,感光性ポリイミド膜で被覆したSCS基板と微細加工技術を用いて微細加工されてきた。ハイブリッドミクロ構造のSCS部品の形状は深い反応性イオンエッチング(D RIE)プロセスを用いて作製した。PI膜の柔軟な部品を,フォトリソグラフィーおよびマイクロパターン化感光性PI薄膜の硬化プロセスを用いて調製した。作製した翼形状ハイブリッドミクロ構造が観察された,ハイブリッド微細構造のPI膜部の柔軟性もPI膜の曲げ試験を用いて確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *複合構造 ,  曲げ試験 ,  *微細加工 ,  RIE【エッチング】 ,  フラッピング ,  剛性 ,  フォトリソグラフィー ,  翼形 ,  *ケイ素 ,  柔軟性 ,  薄膜 ,  微細構造
準シソーラス用語： マイクロパターン ,  光感受性 ,  ミクロ構造 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 硬質 ,  けい素 ,  ポリイミド膜 ,  ハイブリッド構造 ,  微細加工