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J-GLOBAL ID：201702256226200065   整理番号：17A1501877

反応性高出力インパルスマグネトロンスパッタリングによるAlTiSiマルチドーピングによる組成変調多層ダイヤモンド状炭素被覆【Powered by NICT】

Compositionally modulated multilayer diamond-like carbon coatings with AlTiSi multi-doping by reactive high power impulse magnetron sputtering

著者 (7件)： Dai Wei (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, PR China) ,  Dai Wei (Institute of Materials Technology, Pusan National University, Busan 46241, Republic of Korea) ,  Gao Xiang (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, PR China) ,  Liu Jingmao (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, PR China) ,  Kwon Se-Hun (School of Materials Science and Engineering, Pusan National University, Busan 46241, Republic of Korea) ,  Kwon Se-Hun (Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials, Pusan National University, Busan 46241, Republic of Korea) ,  Wang Qimin (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, PR China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 425  ページ： 855-861  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AlTiSiマルチドープしたダイヤモンド状炭素(DLC)被覆は,前駆体としてArとC_2H_2の混合ガスを用いた反応性高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにより作製した。蒸着DLC皮膜の組成,微細組織,圧縮応力および機械的性質はAr比率の関数としてSEM,XPS,TEM,Ramanスペクトル,応力試験機,およびナノインデンテーションを用いて系統的に調べた。結果はAl,TiとSi原子のドーピング濃度は増加するが,Arの分率が増加することを示した。TiとSiは,Cと結合する優先ドーピング濃度が増加するとドープしたAlは主としてC結合なしの酸化状態で存在するが,ドープした,TiC炭化物ナノ結晶は,DLCマトリックス中に形成した。非晶質特徴から被覆の微細構造はTiCナノ粒子埋込みを用いた炭化ナノ複合材料AlTiSi DLCとAlTiSi DLCを支配する。添加では,皮膜はCから分離し,C.との弱い相互作用のためにDLCマトリックス表面に向かって拡散する傾向基板ホルダの回転とドープしたAlの拡散挙動のために代替Alリッチ層とAlの少ない層の組成変調多層を示した。周期Al富化層は皮膜の圧縮応力を解放することができる。一方,硬質TiCナノ粒子は,被覆の硬度を可能にした。,比較的低い残留応力と高硬度を持つDLC被覆はAlTiSiマルチドーピングによって得るのに成功した。AlCrSiマルチドーピングは,DLC被覆の総合的な特性を改善するための良好な方法であると信じられている。添加では,Alリッチ多層構造を持つDLC被覆は,高い耐酸化性,高温環境におけるDLC被覆応用を可能にすることを持っていると信じている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： Ramanスペクトル ,  アルゴン ,  硬度 ,  ナノ粒子 ,  微細構造 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  *アルミニウム ,  *チタン ,  圧縮応力 ,  *被覆 ,  ナノ複合材料 ,  *ドーピング ,  *ケイ素 ,  皮膜
準シソーラス用語： DLC被覆 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ダイヤモンド状炭素 ,  マルチドーピング ,  変調多層構造 ,  Property

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (10件)： 反応性 ,  高出力 ,  インパルス ,  マグネトロンスパッタリング ,  マルチ ,  ドーピング ,  組成 ,  変調 ,  多層 ,  ダイヤモンド状炭素