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J-GLOBAL ID:201702256232137711   整理番号:17A1181682

進行FDSOI技術における鋭いスイッチングバンド変調バックゲート素子【Powered by NICT】

Sharp-switching band-modulation back-gated devices in advanced FDSOI technology
著者 (8件):
資料名:
巻: 128  ページ: 180-186  発行年: 2017年 
JST資料番号: H0225A  ISSN: 0038-1101  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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Z~3FET(零フロントゲート,零スイング勾配と零衝突イオン化)と命名し最も進歩した完全空乏化シリコン-オン-絶縁体技術で作製した,自由表面と帯域変調デバイスを実験的に実証した。デバイスはフロントゲートを持たないため,動作機構は,バックゲートとして作用する二つの隣接した多量にドープした埋設接地面により制御される。鋭い準垂直スイッチング,低漏洩,および調整可能なトリガ電圧などの特性を測定し,考察した。いくつかの変異体(薄い及び厚いSiまたはSiGe体)を調べ,比較的低いバックゲートとドレインバイアス動作高電流,スイッチング性能とESD能力の点で有望な結果を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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トランジスタ 
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