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J-GLOBAL ID:201702257034498536   整理番号:17A0399668

閉鎖空間昇華法によるCdZnTe基板上のHg_1Cd-x Te蒸着【Powered by NICT】

Hg1- Cd x Te vapor deposition on CdZnTe substrates by Closed Space Sublimation technique
著者 (7件):
資料名:
巻: 457  ページ: 211-214  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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閉鎖空間昇華(CSS)法は改良された圧力-温度条件でのCdZnTe基板上にHg_1Cd_ Te多結晶膜を堆積させるために研究した。膜特性についての実験結果は,CSS最適条件をアルゴン大気圧(1013mbar)と500 550°Cの範囲で蒸着温度であることを示唆した。これらの条件は,多結晶の均一なサイズと表面分布とマクロ欠陥フリーHg_1Cd_ Te膜を提供した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  半導体の結晶成長 
タイトルに関連する用語 (5件):
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